Вакуумное оборудование - вакуумные насосы, датчики, вакуумные камеры, технологическое и вакуумно-плазменное оборудование плазмохимических процессов, производства полупроводников и разработки микроэлектроники, создания специальных покрытий, атомно-слоевого осаждения, магнетронного напыления,чистые комнаты и пр.​​​

​

Вакуумно-плазменные процессы, оборудование и технологии являются ключевыми элементами при производстве электронной компонентной базы (ЭКБ) и микроэлектроники, особенно на современном этапе развития отрасли в условиях миниатюризации интегральных схем и полупроводниковых приборов, увеличения надежности, быстродействия и информационной емкости.

Вакуумно-плазменные и вакуумные технологии и процессы также играют важнейшую роль в производстве изделий оптической промышленности, нанесении специальных покрытий в авиастроении, химической и космической промышленности, медицины.

​

С учетом сложности физико-химических процессов, протекающих в реальных производственных условиях, многообразия материалов и режимов обработки, а так жесткого контроля иностранными вендорами и ограничения доступа к технологиям, трансферу и локализации их в РФ само вакуумно-плазменное оборудование, проектирование систем и производств, их дальнейшее техническое обслуживание является критически значимым для развития различных отраслей промышленности.

​

Группа «Техностек Холдинг» обеспечивает полный цикл сопровождения работ по этому направлению для своих заказчиков, обеспечивая как проектирование, производство, поставка и запуск собственных АСУ ТП и оборудования, так и поступательно обеспечивая технологическую независимость уже имеющегося парка техники на промышленных предприятиях РФ:

​

• технологическое оборудование для нанесения оптических покрытий методами магнетронного распыления и электронно-лучевого испарения, позволяющее создавать узко- и широкополосные фильтры, прецизионные многополосовые фильтры, УФ и ИК фильтры, фильтры видимого диапазона и отрезающие фильтры; просветляющие покрытия и прозрачные токопроводящие покрытия, светоделители и оптические зеркала;

• оборудование для контроля оптических параметров, в том числе in situ контроля для технологического оборудования;

• технологическое оборудование для производства интегральных схем и твердотельных приборов (кристаллы ЭКБ): опто- и микроэлектроники, ВЧ ИС, МЭМС, датчиков, дисплеев, фотовольтаики для кристальных участков производства ЭКБ: фотолитография, плазмохимические процессы травления и осаждения, ионно-лучевое распыление и травление, металлизация, термообработка и быстрый отжиг, отмывка и очистка подложек, активация поверхности, межоперационный технологический контроль;

• испытательное и измерительное вакуумное оборудование (камеры, датчики, контроллеры, течеискатели, газоанализаторы);

• вакуумные откачные системы, вакуумные насосы (турбомолекулярные, криогенные, винтовые, спиральные, Рутса, диффузионные, пластинчато-роторные и пр.), вакуумные клапаны и затворы, фитинг, системы центрального вакуума;

• автоматизированные системы управления технологическими процессами вакуумных установок, системы питания;

• общепромышленные газовые системы и трубопроводы: азот, кислород, водород; технологическое газоснабжение: специальные технологические газы, в том числе коррозионные и опасные для специальных процессов; системы газоподачи и утилизации, элементы газовых систем.

 

Дополнительно могут выполняться работы по разработке конструкторской документации и выполнению глубокой модернизации и капитального ремонта установок вакуумного напыления и плазмохимической обработки как российского (советского) производства: УВН-74П-3 , УРМ3.279.50, УВН-71П-3, 08ПХО-100Т-001, так и зарубежного производства: INTEGRITY 100 производства США, ВАК-761 производства Швейцарии.

 

АСУ ТП: По требованию заказчика могут быть выполнены работы по созданию системы автоматизации технологических процессов (АСУТП) на основе человеко-машинного интерфейса, обеспечивающих задание автоматически исполняемой последовательности технологических процессов, гибкое управление и контроль параметров технологического процесса. АСУТП построена на базе промышленной системы, имеющей современную клиент-серверную архитектуру; позволяет хранить и обрабатывать данные в СУБД, осуществлять обмен данными через сервер. Система поддерживает автоматический, ручной, сервисный режимы работы и обеспечивает многоуровневый доступ на с правами: администратора, наладчика, технолога, оператора.

 

Могут быть выполнены работы в том числе по:

1. поставкам и пуско-наладке вакуумного реактивного и изотропного плазмохимического травления с интегрированной системой лазерного интерференционного анализа для вскрытия кристаллов ЭКБ, анализа топологии, поиска дефектов, приведших к отказу ЭКБ.

2. Разработкам высоковакуумных систем для экспериментальных стендов для исследования точечного разряда в неоднородном потоке газа, поддерживаемого мощным терагерцовым излучением

3. поставкам и вводу в эксплуатацию промышленных установок быстрого вакуумного термического отжига в водороде и форминг-газе, вакуумных систем плазмохимической очистки поверхности в кислороде и аргоне.

​

Наши специалисты помогут вам подобрать комплексные решения в области микроэлектроники для технологических операций транзисторного цикла (FEOL), цикла формирования металлизации (BEOL) и разделения пластин на кристаллы:

​

• Плазмо-химическое осаждение и травление (RIE, PE, ICP, DSE, PECVD, HDP-CVD)

• Вакуумное напыление (магнетронное напыление, термическое испарение, электронно-лучевое напыление)

• Атомно-слоевое осаждение (ALD, PEALD)

• Гидромеханической обработки пластин и фотошаблонов

• Очистки УФ-излучением и озоном (UVOH)

• Нанесение, проявление и сушка фоторезиста

• Контактная и проекционная фотолитография

• Контроль критических размеров и совмещения

• Метрология пластин и анализ пленок (спектрофотометры, эллипсометры, профилометры, микроскопы)

• Термические процессы (FLA, RTP, RTA, RTO)

• Ионная имплантация

• Оснастка для работы с полупроводниковыми пластинами (кассеты, боксы для хранения и транспортировки, ориентаторы, перегрузчики пластин, пинцеты)

​

Измерительное оборудование:

• Спектральные и лазерные эллипсометры для лабораторных и промышленных задач

• Системы измерения толщин пленок, в том числе с функцией «Map mapping»

• Оптические микроскопы, ИК микроскопы

• Сканирующие электронные микроскопы (SEM)

​

Пробоподготовка для SEM/TEM микроскопии:

• Настольные установки напыления

​

Производство архитектурного стекла, органических светодиодов (OLED), дисплеев, фотоэлектрических систем:

• Промышленные системы вакуумного напыления на гибкие подложки, крупногабаритное стекло, листы из нержавеющей стали, рулонные материалы

​

Нанесение декоративных (золочение, серебрение), изностостойких, алмазоподобных покрытий на мелкие и крупногабаритные изделия:

• Вакуумно-дуговое напыление (Cathode Arc Evaporator)

• Атомно-слоевое осаждение

​

Вспомогательное оборудование:

• Шкафы сухого хранения

• Мишени для магнетронного напыления

​

Восстановление оборудования (refurbished) ведущих мировых производителей для работы с пластинами 100-300 мм:

• Степперы Canon (проекционная фотолитография)

• KLA-Tencor (вся линейка систем для метрологии полупроводниковых пластин: микро и макро дефектность, рельеф, поверхностное сопротивление, толщина слоя и др.)

• Applied Materials, Oxford, Plasma-Therm, SPTS (процессы RIE, PECVD)

• EVG, SUS (установки совмещения/бондинга)

• Semitool (жидкостная обработка)

​

Восстановление оборудования проводится либо самим производителем, либо специализирующейся компанией, поэтому конечный пользователь получает гарантии и сервис как при покупке нового оборудования.

Восстановленное оборудование – это:

• возможность для малобюджетных организаций приобрести качественную и современную систему по более низкой цене.

• возможность для крупных организаций приобрести большее количество единиц оборудования или направить сэкономленные средства на развитие новых технологий.

Обеспечение производства, элементы инженерной инфраструктуры:

• Скрубберы (утилизация опасных газов)

• Газовые шкафы, газовые панели, услуги по подключению к газам (обвязка)

• Сжатый воздух, компрессоры

• Чиллеры (теплообменник)

• Источники бесперебойного питания

• Вакуумные насосы